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探頭、探頭裝配方法和探針板的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5931240

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本發(fā)明涉及一種用以檢測例如半導體集成電路和液晶面板的電子裝置的電氣特性的探頭,該探頭的裝配方法以及一種探針板。在本發(fā)明實施例中,認為探針板具有安裝在檢測裝置(探測器)上的印刷電路板和固定到該印刷電路板上的探頭,并且,該探頭具有多個探針(探針插腳)。背景技術(shù) 在檢測電子裝置電氣特性的傳統(tǒng)方法中,將設置有多個具有突出頂端的探針的探針板降低,以便使探針的頂端和裝置的電極接觸。隨著電子裝置的集成度不斷增大,電極的間距變得越來越小。因此,更有必要以微米級的精確度在探...
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