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微氣流檢測裝置的制作方法技術資料下載

技術編號:5922916

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本實用新型涉及氣流檢測領域,且特別涉及一種微氣流檢測裝置。背景技術眾所周知,微弱氣流檢測是現(xiàn)代生產(chǎn)控制領域的一大難點。目前已知的國內生產(chǎn)檢驗領域,微弱氣體壓力檢測是空白領域?;S通常通過氣體流量計進行氣體流量檢測。氣體流量計通常需要進行二次控制擴展才可以使用。雖然計量精確,但是,氣體流量計結構復雜,成本高昂,使用和維護都需要具有經(jīng)驗的專業(yè)技術人員。另外,在連接氣路進行測試的過程中,因為測量精度高,周圍環(huán)境和操作動作帶來的噪音信號也非常高。經(jīng)常影響到正常測...
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