技術(shù)編號：5882673
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種基于測量相位或時間的調(diào)焦法光學測頭及其測量儀。屬于位移測試技術(shù)及儀器領(lǐng)域。背景技術(shù) 現(xiàn)有的具有較寬的測量范圍和較高分辨力的位移測頭當屬動態(tài)掃描調(diào)焦法光學測頭，該測頭包括由從光源、音叉、物鏡、被測表面，半透半反鏡、視像器、光電元件、光闌、微型位移傳感器構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)見附圖1。這種動態(tài)掃描調(diào)焦法光學測頭的測量原理是在光路中引入了一組由音叉振動機構(gòu)帶動的透鏡，在音叉振動過程中透鏡的位置不斷變化，從而使光路的焦點位置發(fā)生變化。當焦點落到被測表面時，由被...
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