技術編號：5880054
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種測量極小氣體流量的裝置和方法，特別涉及一種利用非蒸散型吸 氣劑泵測量極小氣體流量的裝置和方法。背景技術在計量實驗室中，大多采用高精度氣體微流量計測量和提供已知氣體流量。高精 度氣體微流量計多選用恒壓式氣體微流量計。文獻“馮焱，成永軍，張滌新，等.恒壓式氣體微流量計的性能測試.真空科學與技 術學報25 (3)，2005. ”介紹了當不采用非蒸散型吸氣劑泵抽氣時，器壁放氣引起的測量不確 定度在10_8Pa. m3/s量級為0. 6%，在10_9P...
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