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空氣主軸系統(tǒng)工件圓度測控方法及裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5879591

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本發(fā)明涉及空氣主軸系統(tǒng)的工件圓度測控技術(shù),一種空氣主軸系統(tǒng)工件圓度測控方法及裝置。如附圖說明圖1所示在采用接觸式主軸的數(shù)字式圓度儀系統(tǒng)中,可以采用接觸式角度傳感器或編碼盤控制采樣間隔,但在采用空氣浮動主軸的數(shù)字式圓度儀系統(tǒng)中,則不可采用上述方式控制采樣間隔。原因是接觸式角度傳感器或編碼盤支撐軸承通常為滾動軸承,其旋轉(zhuǎn)精度>1μm,遠低于空氣主軸<0.1μm的旋轉(zhuǎn)精度。將編碼盤與空氣主軸系統(tǒng)剛性連接時,會產(chǎn)生干涉,影響空氣主軸系統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)精度;若其與主軸系統(tǒng)柔...
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