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一種基于電磁傳感器的金屬膜厚測量裝置與方法技術資料下載

技術編號:5874144

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本發(fā)明屬于材料測試,涉及一種金屬膜厚的測量裝置及測量方法。 背景技術在工業(yè)應用的許多場合需要對金屬膜厚進行測量,對金屬膜厚的嚴格控制在汽車 工業(yè)、精密機械加工、甚至集成電路生產中都有意義。比如硅襯底CMOS射頻集成電路中納 米級的金屬膜厚的測量意義重大,因為硅襯底CMOS射頻集成電路中平面螺旋電感的Q值就 受到金屬膜層厚度的影響;在其它材料加工處理領域,對金屬涂料的測厚也是一個廣泛存 在的問題。目前為止,利用電磁法測量金屬膜厚是比較好的方法,但提離距離的變...
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