技術(shù)編號(hào)：5873221
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))透鏡的制造方法，尤其涉及一種二元光 學(xué)玻璃透鏡的制造及封裝MEMS紅外探測(cè)器的方法。背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體工業(yè)與MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的不斷發(fā)展，使用先進(jìn)的MEMS微 加工技術(shù)可以制造出性能優(yōu)越的紅外線(xiàn)熱成像儀。非冷卻熱電堆式紅外探測(cè)器以其成本低 廉、工藝簡(jiǎn)單和可靠性高等特點(diǎn)，被廣泛用于紅外熱像儀，它可以在室溫下工作。在熱電堆 式探測(cè)器中有紅外線(xiàn)吸收區(qū)域，由于其能有效地吸收紅外線(xiàn)，所以紅外線(xiàn)照射下探測(cè)器的 紅外...
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