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薄膜的檢查裝置和檢查方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5865276

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本發(fā)明涉及對(duì)在玻璃基板上形成的薄膜,例如在太陽(yáng)能電池的透明玻璃基板上形成的透明導(dǎo)電膜的膜質(zhì)進(jìn)行檢查的。背景技術(shù)例如,太陽(yáng)能電池中,在堿玻璃等透明玻璃基板上形成有透明導(dǎo)電膜。透明導(dǎo)電膜以光封閉效果為目標(biāo),積極地在表面形成有凹凸。作為凹凸的程度,例如,對(duì)于0.8μπι的膜厚形成0.3μπι程度的凹凸。作為評(píng)價(jià)這種透明導(dǎo)電膜的表面凹凸的特征量,在現(xiàn)有技術(shù)中,使用霧度率。作為對(duì)該霧度率進(jìn)行測(cè)定的方法,例如已知有在專利文獻(xiàn)1中公開的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)1中,公開了對(duì)透明...
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