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具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性的高靈敏度壓力傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5863445

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本發(fā)明涉及在各種儀器領(lǐng)域中以及在光聲和磁聲分析儀系統(tǒng)中應(yīng)用的具有長(zhǎng)期穩(wěn)定性和高靈敏度的壓力傳感器,各種儀器領(lǐng)域包括氣體分析和Luft型紅外線氣體分析儀。該申請(qǐng)要求保護(hù)于2001年5月25日提出的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)系列號(hào)60/293,581,名為“儀器壓力傳感器”的優(yōu)先權(quán)。背景技術(shù) 長(zhǎng)期穩(wěn)定并高靈敏度地測(cè)量低級(jí)別的氣體壓力的任務(wù)在各種儀器領(lǐng)域中,特別是那些涉及氣體分析的儀器中是非常重要的。多種分類的儀器取決于在氣體樣本中引起小的壓力變化,而該變化又是通過(guò)將氣體暴露...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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