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一種非均勻折射率薄膜光學(xué)常數(shù)的測(cè)量方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5840306

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本發(fā) 明涉及深紫外薄膜光學(xué)技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域,特別涉及。背景技術(shù)近年來(lái),隨著ArF準(zhǔn)分子激光在材料精細(xì)加工、深紫外光刻、材料處理和準(zhǔn)分子醫(yī)療等諸多領(lǐng)域越來(lái)越廣泛應(yīng)用和長(zhǎng)足發(fā)展,使得深紫外光學(xué)相關(guān)技術(shù)的研究具有重大的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)價(jià)值。在深紫外的領(lǐng)域中,無(wú)論是ArF準(zhǔn)分子激光器還是其他相關(guān)光學(xué)系統(tǒng),都離不開(kāi)深紫外波段的鍍膜光學(xué)元件,因此迫切需要研制出在深紫外波段范圍內(nèi)性能優(yōu)異的光學(xué)薄膜。為了制備出滿(mǎn)足要求的薄膜光學(xué)元件,必須準(zhǔn)確確定出所用薄膜材料在相應(yīng)波段內(nèi)的光學(xué)常數(shù)...
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