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搬送臂的移動(dòng)位置的調(diào)整方法和位置檢測(cè)用夾具的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5839919

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本發(fā)明涉及向載置基板的載置部搬送基板的搬送臂的移動(dòng)位置的 調(diào)整方法和位置檢測(cè)用夾具。背景技術(shù)例如半導(dǎo)體設(shè)備的制造工藝中的光刻工序,在搭載有抗蝕劑涂敷 裝置、顯影處理裝置、熱處理裝置等多個(gè)裝置的涂敷顯影處理系統(tǒng)中 進(jìn)行。在該涂敷顯影處理系統(tǒng)中設(shè)有向各裝置搬送晶片的搬送裝置。上述搬送裝置具有保持晶片的搬送臂,例如該搬送臂在前后方向、 左右方向和上下方向進(jìn)行三維移動(dòng),將晶片搬送到各裝置??墒牵缇瑳](méi)有被搬送到各裝置的規(guī)定的載置部,例如沒(méi)有 適當(dāng)進(jìn)行晶片的交接...
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