技術(shù)編號(hào)：5830118
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微型化的具有可彎曲基體的彈簧元件。本發(fā)明還 涉及一種用于掃描力顯微鏡的包括這樣的彈簧元件的梁式探針，以及 這樣的彈簧元件的制造方法。 背景技術(shù)微型化的具有可彎曲的顯微尺寸的基體的彈簧元件可以在大量的 應(yīng)用中使用。這樣的彈簧元件通常包括一可彎曲基體，其在對(duì)一外面 作用的機(jī)械力的反應(yīng)時(shí)被變形或偏移并且在取消外面的力時(shí)重新具有 其原來的形狀?；w的偏移對(duì)此可以特別是與作用力成比例。在微型 化的形式中，亦即具有顯微尺寸的基體，這樣的彈簧元件可以例如作...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。