技術(shù)編號：5793788
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種加熱裝置，尤其是涉及在半導(dǎo)體制造裝置中使用的配管等的需要對高精度的溫度管理的被加熱物進(jìn)行加熱的加熱裝置。背景技術(shù)一直以來，在半導(dǎo)體制造裝置及其他的制造裝置等中，為了防止流體在用于搬運(yùn)流體的配管的內(nèi)壁上發(fā)生凝固，往往利用加熱器對配管進(jìn)行加熱而對在配管內(nèi)部中輸送的流體的溫度進(jìn)行高精度地管理?，F(xiàn)有的配管用加熱裝置例如在日本特開平10-47581號公報(bào)(專利文獻(xiàn)I)及國際公開第2009/081466號(專利文獻(xiàn)2)中公開。圖14是表示現(xiàn)有的配管用加熱...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。