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用于微閥的包含形狀記憶合金的驅(qū)動單元和微閥的制作方法技術資料下載

技術編號:5754486

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本發(fā)明涉及用于微閥的包含形狀記憶合金元件的驅(qū)動單元,以及微閥。 背景技術形狀記憶合金元件因其可用作具有高能量密度的致動器而聞名。例如,在DE 102 33 601中所描述的,其中一個或更多個致動元件與線形式的形狀記憶合金元件配合的閥被已知。由形狀記憶合金制成的箔也被已知。在此情況下,只有用于控制閥的行程的較小行進能在閥中獲得,并且只有低壓能被控制。另外,已知基于用于致動器的形狀記憶合金原理的閥在許多情形中是N0(即“常開”)設計。通常,工業(yè)應用要求NC(即...
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