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一種用于真空接口為薄壁外置型鍺探測(cè)器的接口閥門的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5700289

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一種用于真空接口為薄壁外置型鍺探測(cè)器的接口閥門,包括固定底板、垂直固定在固定底板一側(cè)的中空殼體、垂直設(shè)置在殼體中部的抽真空接口、設(shè)置在固定底板另一側(cè)的兩個(gè)U型固定板、同軸設(shè)置在中空殼體內(nèi)且能軸向運(yùn)動(dòng)的拉桿,拉桿的一端伸出固定底板且端部設(shè)置有與真空密封塞的盲孔匹配的螺紋,其另一端伸出中空殼體非固定端,拉桿與中空殼體非固定端之間被密封裝置密封。本實(shí)用新型在不泄漏真空的前提下可隨時(shí)打開、關(guān)閉探測(cè)器的真空室,保障鍺晶體不受人為的二次污染。專利說明一種用于真空接口為...
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