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閥單元和流體控制薄片的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5508756

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本發(fā)明涉及一種布置在用來(lái)傳輸流體的通道中并且適合于通過(guò)振動(dòng)實(shí)現(xiàn)打開(kāi)和關(guān)閉的閥單元,并且也涉及一種包含這種閥單元的流體控制薄片。背景技術(shù) 在近來(lái)的極小技術(shù)和精微處理技術(shù)中已經(jīng)取得了顯著的進(jìn)步,人們希望今后這些技術(shù)會(huì)融合在一起,并且發(fā)展到各種應(yīng)用技術(shù)中。作為這種融合技術(shù)的一種,人們已經(jīng)開(kāi)始注意微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)或其中集成有半導(dǎo)體芯片和微執(zhí)行器的所謂的微機(jī)械。在這種技術(shù)中,LSI和執(zhí)行實(shí)際工作的執(zhí)行器被集成和容納在一個(gè)幾平方毫米的薄片中。特別的是,人...
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