技術編號：5492052
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種真空泵以及特別是涉及一種化合物真空泵。背景技術 在壓差質譜儀系統中，樣品和載體氣體引入質量分析儀中進行分析。一個這樣的實例在圖1中給出。參考圖1，在這種系統中，在第一(根據系統的類型)、第二和第三排空界面腔室11、12、14之后存在高真空腔室10。第一界面腔室是在排空的質譜儀系統中的最高壓力的腔室，并且可以包括孔口或毛細管，離子從離子源抽入到第一界面腔室11內。第二、任選的界面腔室12可包括離子光學器件以便將離子從第一界面腔室11引導到第三界...
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