技術(shù)編號(hào)：5423668
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種液體供給裝置，其高精度地排放定量的液體，特別地，其高壓地將高粘性液體排放至待涂覆的部件(以下稱為“待涂覆部件”)。背景技術(shù)為了將例如液態(tài)光致抗蝕劑的液體從使用的噴嘴涂覆至半導(dǎo)體晶片或玻璃基板的待涂覆部件的表面，使用液體供給裝置。作為用于上述應(yīng)用的液體供給裝置，有一種通過驅(qū)動(dòng)桿使可彈性變形的泵部件軸向往復(fù)的形式的驅(qū)動(dòng)泵。驅(qū)動(dòng)桿可軸向往復(fù)地安裝在圓柱形殼體中，并且在驅(qū)動(dòng)桿的頂端部和殼體之間軸向提供可彈性變形的泵部件，并且在殼體中形成有可通過泵部件...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。