技術(shù)編號(hào):5422514
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及露出于氣體流道的由鋁或鋁合金構(gòu)成的機(jī)械增壓泵、渦輪分子泵或干式泵(κ,4 # > )的部件的表面處理方法及由通過(guò)該表面處理方法處理過(guò)的部件構(gòu)成的機(jī)械增壓泵、渦輪分子泵或干式泵。背景技術(shù)作為現(xiàn)有的干式泵的構(gòu)造,已知例如如圖1所示,在連接以與機(jī)殼1的側(cè)面對(duì)置的方式配置的進(jìn)氣口 2及排氣口 3的流道中,設(shè)置轉(zhuǎn)子室4,在該轉(zhuǎn)子室4內(nèi),設(shè)置由通過(guò)電動(dòng)機(jī)5驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)軸6軸支承的轉(zhuǎn)子7 12,由此構(gòu)成螺旋型的構(gòu)造。另外,在圖示的構(gòu)造中,在轉(zhuǎn)子室4內(nèi)連接有...
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