技術編號:5286018
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及從使用后的銦-鋅氧化物(IZO)濺射靶或制造時產生的IZO邊角料等 IZO廢料(本說明書中將這些材料統(tǒng)稱為“ΙΖ0廢料”)中回收有價值金屬的方法。另外,本 說明書中記載的“回收有價值金屬”包含以有價值金屬作為構成元素的氧化物、氫氧化物等 化合物。背景技術近年來,銦-鋅氧化物(In2O3-ZnO ;—般稱為ΙΖ0)濺射靶廣泛應用于液晶顯示裝 置的透明導電薄膜等,多數情況下使用濺射法薄膜形成手段在襯底等上形成薄膜。該濺射法薄膜形成手段是優(yōu)良的方法,但...
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