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壓力傳感器的制造方法以及壓力傳感器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5269188

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本發(fā)明提供了一種壓力傳感器的制造方法以及壓力傳感器。所述方法包括如下步驟提供一器件襯底;在所述器件襯底的第一表面上依次形成隔離層和器件層;從所述器件襯底的第二表面采用等離子體刻蝕工藝形成具有垂直側(cè)壁蝕坑,至隔離層停止;以所述第二表面為鍵合面,將所述器件襯底同一支撐襯底鍵合。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于,采用干法刻蝕做背面蝕坑,比KOH或TMAH背刻工藝制作的芯片面積減小了50%,并且不采用SOI襯底就可以實(shí)現(xiàn)自停止工藝,大大地節(jié)約了成本。專利說(shuō)明壓力傳感器的制造方法以...
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