技術(shù)編號：5268087
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。,壓力和溫度的集成硅芯片及制作方法本發(fā)明涉及，壓力和溫度的集成硅芯片及制作方法，更 確切地說，提供一種用同一套微加工工藝將基于熱電堆加速度傳感器(加速 度計)、壓力傳感器和溫度傳感器制作在一個芯片上，屬于硅微機械傳感器技 術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)在航空航天、工業(yè)自動化控制、汽車電子、航海以及消費電子等領(lǐng)域中， 需同時測量加速度、壓力、溫度等參數(shù)。如在汽車輪胎壓力檢測系統(tǒng)中，利 用安裝在每一個輪胎里的壓力傳感器來直接測量輪胎的氣壓，并對各輪胎氣 壓進行顯示及監(jiān)視，當...
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