技術(shù)編號(hào)：5268045
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))激勵(lì)器(actuator)及其制造方法，并且特別涉及一種二維MEMS激勵(lì)器及其制造方法。背景技術(shù) 應(yīng)用于光學(xué)掃描儀的MEMS激勵(lì)器包括利用靜電力沿一個(gè)方向或兩個(gè)方向移動(dòng)的微型鏡面。美國(guó)專(zhuān)利No.5025346公開(kāi)了一種利用通過(guò)梳狀電機(jī)獲得的靜電效應(yīng)的微激勵(lì)器(microactuator)。微激勵(lì)器包括活動(dòng)梳狀電極與靜止梳狀電極交替排列在活動(dòng)結(jié)構(gòu)和靜止結(jié)構(gòu)處的結(jié)構(gòu)?；顒?dòng)結(jié)構(gòu)由附近的支撐結(jié)構(gòu)懸掛。在水平共振頻率下驅(qū)動(dòng)該懸掛結(jié)...
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