技術(shù)編號：5267460
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)。更明確地說，一些實施例涉及用于改進干涉式調(diào)制器的 微機電操作的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)機電系統(tǒng)包含具有電和機械元件、致動器、變換器、傳感器、光學組件(例如鏡面) 和電子器件的裝置。機電系統(tǒng)可以多種標度來制造，包含(但不限于)微標度和納米標度。 舉例來說，微機電系統(tǒng)(MEMS)裝置可包含具有介于約一微米到數(shù)百微米或以上的大小的 結(jié)構(gòu)。納米機電系統(tǒng)(NEMS)裝置可包含具有小于一微米的大小(舉例來說，包含小于數(shù)百 納米的大小)的結(jié)構(gòu)?？墒褂贸?..
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