技術(shù)編號(hào)：5267114
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電和微電子器件及其制造方法，具體涉及慣性器件，例如要求有垂懸質(zhì)量的加速計(jì)或陀螺儀。本發(fā)明也涉及封裝和密封具有深絕緣溝槽的、由晶片構(gòu)成的器件，且涉及與微機(jī)電和微電子器件電連接的方法。背景技術(shù) 目前制造的微機(jī)電慣性器件被用于多種應(yīng)用，包括汽車氣囊和慣性導(dǎo)航向?qū)到y(tǒng)。對(duì)于如汽車氣囊這樣的應(yīng)用，慣性器件如加速計(jì)，需要既精確又便宜。微機(jī)電加速計(jì)通過使用類似于或同于在集成電路制造中使用的制造工藝步驟而形成于襯底上。微機(jī)電器件將電氣和機(jī)械功能組合到一個(gè)器件...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。