技術(shù)編號(hào)：5265454
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種MEMS自組裝過程的限位方法，具體涉及一種基于引線鍵合的 MEMS自組裝過程的限位方法。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectromechanical systems, MEMS)是融合了機(jī)械學(xué)、材料學(xué)、光電子學(xué)、微電子學(xué)等諸多學(xué)科的新興技術(shù)，被譽(yù)為“第三次新技術(shù)革命的浪潮”。MEMS 器件的種類繁多，有加速度計(jì)、壓力傳感器、流量傳感器、陀螺儀等，已被廣泛應(yīng)用在汽車電子、消費(fèi)電子、生物醫(yī)學(xué)、工業(yè)及宇航領(lǐng)域。然而，目前常用的微加工技術(shù)，如表面...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。