技術(shù)編號(hào)：4976265
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。相關(guān)申請(qǐng)本申請(qǐng)擁有60/206,130號(hào)臨時(shí)申請(qǐng)的權(quán)益，該臨時(shí)申請(qǐng)于2000年5月22日提交，在此通過引證被并入本文。氙波段光線的波長(zhǎng)為10～15納米，人們?cè)ㄗh用這一波段的光線來產(chǎn)生平版印刷工藝所用波長(zhǎng)的光線；通過將脈沖激光聚焦在膨脹的氙氣束上可產(chǎn)生等離子體，并由此產(chǎn)生平版印刷工藝所用波長(zhǎng)的光線。例如，1996年11月19日授予Kubiak等人的5,577,092號(hào)美國(guó)專利對(duì)此有所描述。為了得到能輻射出所需波段光線的高度離子化氙氣，所生成的氙等離子體必須...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。