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超純水制造裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4871892

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本發(fā)明提供一種逆滲透膜分離裝置的設(shè)置數(shù)量少的超純水制造裝置。本發(fā)明提供了一種超純水制造裝置,其具備有一次純水系統(tǒng)(2)和處理該一次純水系統(tǒng)(2)的處理水的輔助系統(tǒng)(3),并且,至少在該一次純水系統(tǒng)(2)中設(shè)置有逆滲透膜分離裝置,其特征在于,設(shè)置于該一次純水系統(tǒng)(2)中的逆滲透膜分離裝置是高壓型逆滲透膜分離裝置,并且以單級的方式設(shè)置。高壓型逆滲透膜分離裝置具有標(biāo)準(zhǔn)運轉(zhuǎn)壓力為5.52MPa、純水通量為0.5m3/m2·D以上、NaCl去除率為99.5%(NaC...
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