技術(shù)編號:4748091
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種熱處理裝置,對電漿顯示用玻璃基板等平板狀脆性被處理物,在中空的搬送路徑內(nèi)進行加熱處理、退伙處理及冷卻處理等熱處理。背景技術(shù) 作為對電漿顯示用玻璃基板等平板狀脆性被處理物進行熱處理的方式,載置(setter)方式為一般所現(xiàn)有。在載置方式的熱處理中,將被處理物載置于稱為載置玻璃(setter glass)的高強度耐熱用厚板載臺上,通過多個搬送滾柱的旋轉(zhuǎn),將其在爐內(nèi)的搬送路徑內(nèi)搬送(參照,例如專利文獻1)。例如,在對被處理物為寬度1460mm、長度...
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