技術(shù)編號：4355348
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是關(guān)于ー種基板處理裝置。本申請是根據(jù)2010年4月9日申請的美國臨時申請61/322347號及2010年4月9日申請的美國臨時申請61/322417號主張優(yōu)先權(quán)，并將其內(nèi)容援引于此。背景技術(shù)作為構(gòu)成顯示器裝置等顯示設(shè)備的顯示組件，例如有液晶顯示組件、有機電致發(fā)光(有機EL)組件、用于電子紙的電泳組件等。目前，此等顯示組件是以在基板表面形成被稱為薄膜晶體管(Thin Film Transistor TFT)的開關(guān)組件或增幅組件或電流驅(qū)動組件等之后，于其...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。