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適用于鉆石晶體生長(zhǎng)的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng)技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40615558

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本發(fā)明屬于晶體生長(zhǎng)、化學(xué)氣相沉積,尤其涉及一種適用于鉆石晶體生長(zhǎng)的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng),更具體地涉及一種適用于鉆石晶體生長(zhǎng)的自適應(yīng)方法、裝置、系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)、計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。背景技術(shù)、鉆石被稱(chēng)作終極半導(dǎo)體,而通過(guò)微波等離子體化學(xué)氣相沉積(mpcvd)設(shè)備進(jìn)行鉆石生長(zhǎng)是目前為止獲取更高純度、更高質(zhì)量鉆石晶體的有效途徑之一。但是,由于mpcvd設(shè)備腔體內(nèi)的等離子體濃度隨時(shí)間、鉆石材料表面狀態(tài)、溫度等參數(shù)變化會(huì)出現(xiàn)顯著變化,致使在鉆石生長(zhǎng)的過(guò)程中,其工藝參數(shù)需要實(shí)時(shí)調(diào)整,調(diào)整過(guò)程主要依賴(lài)...
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