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一種橫向激勵薄膜體聲波諧振器及其制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40614495

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本發(fā)明屬于聲波諧振器,具體涉及一種橫向激勵薄膜體聲波諧振器及其制造方法。背景技術(shù)、橫向激勵的薄膜體聲波諧振器(xbar)因其高機(jī)電耦合系數(shù)(kt>%)和高優(yōu)值(fom=q*kt))而成為ghz以上的寬帶濾波器實現(xiàn)低損耗、高功率處理能力和低成本的理想解決方案。但是,現(xiàn)有技術(shù)中展示的a(一階反對稱型蘭姆波)器件都存在較多的橫向雜散模式,從而在器件響應(yīng)中出現(xiàn)多個雜散諧振峰分布,對應(yīng)在濾波器件的通帶中出現(xiàn)紋波,導(dǎo)致插入損耗增加、通帶邊緣陡峭度差等問題,嚴(yán)重影響信號收發(fā)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。
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