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剝離裝置、剝離系統(tǒng)以及剝離方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40611939

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本公開(kāi)涉及一種剝離裝置、剝離系統(tǒng)以及剝離方法。背景技術(shù)、近年,例如在半導(dǎo)體器件的制造工序中,硅晶圓、化合物半導(dǎo)體晶圓等半導(dǎo)體基板的大口徑化和薄型化取得進(jìn)展。大口徑且薄的半導(dǎo)體基板在搬送時(shí)、研磨處理時(shí)存在產(chǎn)生翹曲、裂紋的風(fēng)險(xiǎn)。因此,在將支承基板貼合于半導(dǎo)體基板來(lái)進(jìn)行強(qiáng)化之后進(jìn)行搬送、研磨處理,然后進(jìn)行將支承基板從半導(dǎo)體基板剝離的處理。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn):日本特開(kāi)-號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、發(fā)明要解決的問(wèn)題、本公開(kāi)提供一種減少剝離完成的誤判定的技術(shù)。、用...
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