技術(shù)編號：40595543
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體，具體涉及一種新型半導(dǎo)體測試探針制造工藝。背景技術(shù)、探針卡是一種用于電子測試和分析的關(guān)鍵器件，它由多個探針組成,通過接觸待測電路或器件的接觸點(diǎn),可對其電性能進(jìn)行測試和分析。探針卡廣泛應(yīng)用于集成電路、pcb電路、新型電子器件等領(lǐng)域的研發(fā)和制造過程中。、mems探針卡是利用微機(jī)電系統(tǒng)（mems）技術(shù)制造的一種新型探針卡，它主要具有以下特點(diǎn)：（）超高探針密度，mems探針利用微加工技術(shù)，可在一張?zhí)结樋▋?nèi)集成超過k個針，滿足電子器件的測試需求；（）優(yōu)異的接觸性能，mems探...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。