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一種新型半導(dǎo)體測(cè)試探針?lè)庋b工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40595541

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體,具體涉及一種新型半導(dǎo)體測(cè)試探針?lè)庋b工藝。背景技術(shù)、探針卡是一種用于電子測(cè)試和分析的關(guān)鍵器件,它由多個(gè)探針組成,通過(guò)接觸待測(cè)電路或器件的接觸點(diǎn),可對(duì)其電性能進(jìn)行測(cè)試和分析。探針卡廣泛應(yīng)用于集成電路、pcb電路、新型電子器件等領(lǐng)域的研發(fā)和制造過(guò)程中。、mems探針卡是利用微機(jī)電系統(tǒng)(mems)技術(shù)制造的一種新型探針卡,它主要具有以下特點(diǎn):()超高探針密度,mems探針利用微加工技術(shù),可在一張?zhí)结樋▋?nèi)集成超過(guò)k個(gè)針,滿(mǎn)足電子器件的測(cè)試需求;()優(yōu)異的接觸性能,mems探...
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