技術(shù)編號(hào)：40588580
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路，尤其涉及一種集成接口電路的微流量傳感器及其無光刻制造方法。背景技術(shù)、流量傳感器廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)療診斷、工業(yè)控制、航天探測(cè)等關(guān)系國(guó)計(jì)民生的重要領(lǐng)域。隨著智能建筑、智慧城市、精準(zhǔn)醫(yī)療等新興領(lǐng)域的迅猛發(fā)展，用于流量監(jiān)測(cè)的傳感器性能要求日益提高。例如，在智能建筑中，為實(shí)現(xiàn)節(jié)能型的個(gè)性化通風(fēng)與熱舒適度控制，流量傳感器需精準(zhǔn)探測(cè)-m/s至m/s的室內(nèi)低速流，并實(shí)現(xiàn).m/s以下的極低流速測(cè)量。在智慧城市中，供氣和供暖系統(tǒng)的采集、運(yùn)輸和分配過程中需要數(shù)百萬個(gè)流量傳感器，這就...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。