技術(shù)編號：40574461
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體材料，具體涉及一種利用半導(dǎo)體磷化銦回收磷和銦的裝置及方法。背景技術(shù)、磷化銦是重要的化合物半導(dǎo)體材料，在微電子及光電子行業(yè)應(yīng)用廣泛，全球磷化銦晶體材料的用量很大。、磷化銦單晶的成品率很低，在生長磷化銦晶體過程中，原料會重復(fù)利用。隨著原料的反復(fù)使用，純度會大幅降低，甚至最終無法使用，在磷化銦單晶制備過程中會產(chǎn)生大量的磷化銦廢料。、銦是稀有金屬，而磷的制備污染較大，因此非常有必要進行銦和磷的回收再利用。、現(xiàn)有技術(shù)當中，回收磷化銦中銦元素的同時會造成一定的磷污染，尤其采用氯化法回...
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