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NPT-IGBT器件及其制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40573393

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體功率器件領(lǐng)域,特別是涉及一種非穿通型(non?punchthrough,npt)絕緣柵雙極型晶體管(insulated?gate?bipolar?transistor,igbt)器件;本發(fā)明還涉及一種npt-igbt器件及其制造方法。背景技術(shù)、igbt器件是由金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管(mosfet)與雙極型三極管(bjt)復(fù)合而成的一種電壓驅(qū)動(dòng)型器件。mosfet輸入阻抗高、開關(guān)速度快,但載流子密度低,導(dǎo)通電阻高;bjt電流密度大、導(dǎo)通壓降低,但驅(qū)動(dòng)電流大;igbt綜合了兩...
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