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一種紅外探測器及其芯片結(jié)構(gòu)、加工工藝的制作方法技術資料下載

技術編號:40511805

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本發(fā)明涉及紅外探測,特別是涉及一種紅外探測器及其芯片結(jié)構(gòu)、加工工藝。背景技術、熱成像系統(tǒng)是一種利用紅外技術來探測和顯示物體表面溫度分布的設備,其主要通過采集熱紅外波段的光,將物體發(fā)出的熱輻射轉(zhuǎn)化為灰度值或偽彩色圖像,以此來發(fā)現(xiàn)和識別目標物體;熱成像系統(tǒng)中的核心部件是紅外探測器,其能夠探測紅外輻射并將其轉(zhuǎn)化為電信號。、相關技術中,為了保證紅外探測器對溫度量測的靈敏度及準確度,紅外探測器芯片對于探測器內(nèi)部的環(huán)境要求苛刻,紅外探測器微測輻射熱計接收目標紅外輻射后的溫度變化很微弱,為了使其上面的熱量...
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