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具有外部接觸的微機械結(jié)構(gòu)元件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40453293

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本發(fā)明從一種微機械結(jié)構(gòu)元件出發(fā),所述微機械結(jié)構(gòu)元件具有外部電觸點的布置,用于在印刷電路板上的接觸,其中,所述結(jié)構(gòu)元件能夠在第一焊接配置中被接觸。這樣的結(jié)構(gòu)元件在現(xiàn)有技術(shù)中已廣為人知。背景技術(shù)、mems傳感器單元,例如bmi,用于測量不同的物理參量,例如分別在個軸中的加速度和轉(zhuǎn)速。所述mems傳感器單元由殼體(圖)組成,一個或者多個mems芯片作為測量元件和一個或者多個asic作為傳感器數(shù)據(jù)分析處理元件集成到該殼體中。、asic主要包含傳感器前端,以便將mems表征性的物理參量(例如...
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