技術(shù)編號：3474893
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種多晶硅定向凝固裝置，具體涉及一種提高多晶硅定向凝固過程中除雜效果的定向凝固裝置，包括爐體，爐體內(nèi)放置有石英坩堝，石英坩堝外壁由內(nèi)向外依次環(huán)繞設(shè)置有石墨發(fā)熱體、保溫套筒和感應(yīng)線圈，石英坩堝底部設(shè)置有與爐體底部通連的水冷拉錠機(jī)構(gòu)，其特征在于保溫套筒的高度為石英坩堝高度的1.5～2倍。本實(shí)用新型所具有的有益效果是此裝置能夠?qū)崿F(xiàn)硅熔體的定向生長，能夠很好的實(shí)現(xiàn)定向凝固去除多晶硅中金屬性雜質(zhì)的目的。使用該裝置能夠很好的將石英坩堝側(cè)壁在下拉過程中的熱...
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