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從蝕刻機生產線過濾回收氫氟酸的工藝方法技術資料下載

技術編號:3455263

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本發(fā)明涉及一種,包括如下步驟啟動泵抽取蝕刻機生產線廢酸,進入廢酸暫存桶;廢酸進入過濾器內,所述過濾器從外向內依次由外殼、濾布和濾管組成,然后流出過濾器進入干凈桶,固體顆粒被攔截在濾布表面形成濾餅;所述廢酸暫存桶中的廢酸降至預設液位或所述過濾器的進出口壓差達到預設定值或過濾運行時間達到預設定值時,先補氣到過濾器內排走殘留液和烘干濾餅,再逆向補氣爆破濾餅,回收濾餅;給水沖洗過濾器內部,再補氣排水,等待進入下一個循環(huán)。本發(fā)明不但能夠提高廢酸回收效率,替代傳統(tǒng)落后...
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