技術(shù)編號(hào)：3453510
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種量產(chǎn)超高純氫氟酸的預(yù)處理工藝，包括以下步驟（1）將工業(yè)級(jí)無水氟化氫通過氣化器氣化；（2）已氣化穩(wěn)定的氟化氫氣體進(jìn)入固定床反應(yīng)器氧化；固定床反應(yīng)器上載有氧化劑，所述氧化劑為固體氧化劑；（3）精餾塔的精餾蒸發(fā)器中注入純水，控制液溫為15-25℃；向精餾蒸發(fā)器中通入從固定床反應(yīng)器中出來的氟化氫氣體，進(jìn)行精餾；（4）精餾塔頂出來的氟化氫氣體經(jīng)超純水吸收、循環(huán)過濾后得到符合要求濃度的超高純電子級(jí)氫氟酸。本發(fā)明還提供了一種量產(chǎn)超高純氫氟酸的預(yù)處理裝置。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。