技術(shù)編號(hào):3450334
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及四氟化硅的制備方法,具體涉及一種以金屬氟化物和二氧化硅為原料 用石英砂法制備四氟化硅的方法。背景技術(shù)四氟化硅(SiF4),在多晶硅行業(yè)中主要用于制備硅烷。四氟化硅也可以用來處理 干燥混凝土部件,能改進(jìn)混凝土的防水性、耐腐蝕性和耐磨性。高純的四氟化硅更是電子工 業(yè)中一種重要原料,被廣泛應(yīng)用于光纖、半導(dǎo)體和太陽能電池。制備四氟化硅的方法主要有石英砂法和氟硅酸熱解法。石英砂法是以硅源(如石 英砂,主要成份為二氧化硅)和金屬氟化物(如NaAlF4,CaF...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。