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技術(shù)編號(hào)：3431409

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本發(fā)明涉及ITO靶材的原材料ITO的制備方法，特別是單分散納米ITO粉末的制備方法。背景技術(shù) 伴隨著液晶顯示的發(fā)展，用于透明電極的銦錫氧化物(ITO)需要量急劇增加。目前，世界上的發(fā)達(dá)國(guó)家如日本、美國(guó)、英國(guó)、法國(guó)等國(guó)將一半左右的銦用于制備ITO材料。它們普遍采用銦錫氧化物制成靶材，然后用直流磁控濺射法將靶材制成ITO薄膜。這種薄膜對(duì)可見(jiàn)光透明，能強(qiáng)烈反射紅外光，有較低的膜電阻，因而在液晶顯示、隔熱玻璃、太陽(yáng)能電池和收集器、車輛窗口去霧防霜等方面獲得日益廣泛...
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