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硬脆材料的加工裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3417264

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本發(fā)明涉及一種,特別是應(yīng)用于用于硬脆材料加工及以激光與高壓微粉粒噴砂同軸加工硬脆材料的裝置及方法。背景技術(shù)硅、玻璃、陶瓷、砷化鎵(GaAs)、氧化鋯(ZrOJ、碳化硅(SiC)、石墨、寶石、碳纖復(fù)合材料等硬脆材料,由于材料本身具備硬、脆特性,因此,在對(duì)硬脆材料加工有其困難,如以現(xiàn)有堅(jiān)硬鉆石刀具研靡加工該硬脆材料,則易使鉆石刀具靡耗損壞,造成機(jī)具的損壞,且無(wú)法對(duì)該硬脆材料的細(xì)部部位進(jìn)行加工;又如以現(xiàn)有激光束加工該硬脆材料,則受限于激光能量集中于細(xì)微光束的關(guān)系...
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