技術(shù)編號：3402509
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種積木式多用途真空鍍膜機，匹配多種鍍膜源、離子源和相適應(yīng)的電源，接口通用性強，便于互換，適于一機多用。用于真空沉積多種金屬膜、合金膜、化合物膜、多層膜、納米膜，屬于材料表面改性領(lǐng)域。技術(shù)背景隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對真空鍍膜膜層性能提出了新的要求。由于多層膜、多層納米膜可以提供更優(yōu)越的性能，近幾年真空鍍膜領(lǐng)域掀起了向多層膜、多層納米膜進軍的高潮，也對鍍膜技術(shù)和鍍膜機的結(jié)構(gòu)提出了新要求。因此新型鍍膜源、新型電源、新型離子源應(yīng)運而生。在一臺鍍膜機中...
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