技術編號：3367814
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及類金剛石膜，特別涉及。 背景技術類金剛石膜(Diamond-Like Carbon，簡稱DLC)是一種非晶態(tài)的碳材料，碳原子以 SP2和SP3雜化鍵結合。SP3雜化鍵的存在使類金剛石膜具有與金剛石相近的優(yōu)良性質，如 高硬度、耐磨損、低摩擦系數(shù)、高電阻率、高導熱率和高化學穩(wěn)定性等。自從20世紀70年代 發(fā)現(xiàn)以來，由于其在機械、化學、光學、熱學、電學等方面表現(xiàn)出的獨特性質，類金剛石膜吸 引大量的研究工作，并且取得了很多實際的應用成果(1、鄧新綠，馬國...
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