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形成相變材料的方法和形成相變存儲器電路的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3310859

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本申請涉及。本發(fā)明揭示一種形成具有鍺和碲的相變材料的方法,其包括將含鍺材料沉積于襯底上。所述材料包括呈元素形式的鍺。使包含碲的氣態(tài)前體流動到所述包含鍺的材料上且從所述氣態(tài)前體移出碲以與所述包含鍺的材料中所述呈元素形式的鍺反應(yīng),從而在所述襯底上形成相變材料的包含鍺和碲的化合物。本發(fā)明還揭示其它實施方案。專利說明[0001]分案申請的相關(guān)信息[0002]本案是分案申請。該分案的母案是申請日為2010年3月22日、申請?zhí)枮?01080016720.7、發(fā)明名稱為...
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