技術(shù)編號：3292665
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，應(yīng)用該法，可制備出大面積、致密性良好的薄膜。相比溶膠-凝膠法制備的薄膜，該法參數(shù)控制更精確，制備出的薄膜致密度更高，且薄膜呈單一尖晶石結(jié)構(gòu)。利用該法制作的薄膜，可用于制造線列及面陣熱敏探測器件，以及制作微橋結(jié)構(gòu)和頂?shù)纂姌O結(jié)構(gòu)熱敏探測器件。專利說明 [0001]本發(fā)明涉及。 背景技術(shù) [0002]111-0)-附-0系列材料是一種具有很高的負(fù)電阻溫度系數(shù)的熱敏材料。該類氧化物半導(dǎo)體材料因其性能穩(wěn)定，工作溫度寬的特點(diǎn)而獲得了很大的發(fā)展，...
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